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石英玻璃的冷加工技術開發

   石英玻璃的深加工是指將石英玻璃原料(管狀、棒狀、片狀、塊狀)加工成用戶需要的石英器件,在加方法上分為冷加工和熱加工兩種形式。下面為使用玻璃的冷加工詳細介紹。
冷加工主要包括切割、研磨、拋光三種:

1、切割:主要是采用金剛砂鋸片、金剛石鋸片切割石英管或石英片。多刀切割機、線切割機,主要用于石英碇、石英塊料切割。激光切割機、內圓切割機,主要用于切割導行板材。
2、研磨:平面磨盤、單軸、雙軸拋光機,分粗磨:Hcp在10~20μm光潔度▽2.平面銑床、多功能銑床,細磨:Hcp在6.3μm光潔度▽6.鉆床、車床、內園、外園磨床,粗磨:Hcp在6μm以下▽7.
3、拋光:多軸拋光機:Hcp<λ,即0.5μm以下。①粗磨的目的是成型,使加工件具有一定的幾何形狀。用散粒磨料或結合磨料加工石英玻璃表面后,其表面不平度Hcp10~20μm,▽2.粗磨有的用散粒磨料在磨盤上手工磨,或用結合磨料機械磨。散粒磨料有綠SiC色(金剛砂)和電熔白剛玉等幾種;用60#~12#電熔剛玉砂可達到▽2.結合磨料有SiC樹脂,金剛石磨輪。粗磨最好在平面磨床或銑床上用結合磨料進行。②、細磨:目的是改善表面的粗糙度,使被加工件獲得接近完工的幾何形狀,為拋光打下基礎,用散料磨料研磨表面,不平度Hcp<6.3μm;尺寸精度0.5~1.0mm。細磨也有兩種:手工散料+平面磨盤,一般選用較小磨盤,線速度12m/s以上,加工件在磨盤上式橢圓形運動,正常自轉180°。機械磨,上盤,加工件固定以圓形鑄鐵平面上。單軸拋光機,雙軸泡個腳(H015型)軸拋光機。③、精磨:目的是進一步改善玻璃表面智質量,盡量減少拋光必須完全除去的破壞層厚度,并對幾何尺寸進一步修正。Hcp<6μm、▽7左右。精磨的主要指標是光潔度,檢查方法是在反射光下用肉眼觀察。精磨磨料為120~14μm。應盡量避免擦傷。④、拋光Hcp<λ;即<0.5μm。拋光的目的是是玻璃光石的微觀起伏小于光波波長。精磨石的玻璃即可進行拋光;使玻璃對光線有良好的透過能力。用以瀝青+松香氣體的拋光膠;拋光車間要求恒溫。有高速和低速兩種拋光設備。各種工具夾具。

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